Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T01:32:26Z

Аннотация:

Описаны основные математические модели и узловые моменты их использования для моделирования процессов тепломассопереноса, обусловленного киловольтными элек- тронами в полупроводниковых материалах. Дифференциальные уравнения тепломас- сопереноса записаны для одномерных процессов, реализующихся при использовании ши- роких электронных пучков, и тр¨ехмерных процессов, реализующихся при использова- нии сфокусированных электронных пучков - электронных зондов. Проведена оцен- ка возможности использования тр¨ехмерной модели для моделирования распределения тепла в полупроводниковых мишенях при низких энергиях электронного зонда. Рас- смотрены некоторые возможности использования предлагаемых подходов для мате- матического моделирования явлений тепломассопереноса в многослойных структу- рах.

Тип: article