Методами рентгеноструктурного анализа исследовалась структура оксидов SiO₂ двух состояний (кварцит, кварцевый песок) до и после плазменной обработки. Под действием плазмы сырье плавилось и испарялось в газообразную фазу, после чего проходило стадию закалки с конденсацией в виде наночастиц. Идентификация и уточнение структурных параметров решеток фаз осуществлялась методом Ритвельда. Обнаружено, что после плазменной обработки оксиды SiO₂ находились в аморфизированном состоянии. Моделирование аморфного состояния SiO₂ осуществлялось в рамках микроканонического ансамбля. Было показано, что аморфные фазы оказываются стабильными и с высокой степенью сходимости модельные интенсивности отраженного излучения аппроксимируют экспериментальные дифрактограммы. В рамках моделирования для кристаллических и аморфных фаз оксидов SiO₂ установлена полная структурная информация: определены координаты атомов, параметры структуры и заселенность узлов атомами кремния и кислорода.