Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T12:29:17Z

Аннотация:

Представлены результаты исследования структуры и фазового состава пленок силицидов титана. Установлено, что быстрая термическая обработка (Т = 580–620°С, время 30 с) с использованием галогенных ламп позволяет сформировать слой дисилицида титана в модификации С49.

Тип: Article