Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Intelligent control system of metal vacuum sputtering process on the basis of application of multi-agent system

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T01:07:49Z

Аннотация:

Тип: Article

Источник: SCOPUS18184952-2013-23-7-SID84880627796

Другие версии документа

Intelligent control system of metal vacuum sputtering process on the basis of application of multi-agent system

Связанные документы (рекомендация CORE)