Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T06:59:52Z

Аннотация:

Представлен блочно-модульный принцип построения многокоординатных систем перемещений для спецтехнологического оборудования микроэлектроники на основе их компоновки из базовых однокоординатных и двухкоординатных модулей на дискретном приводе прямого действия. В результате достигается широкое варьирование параметров движения при выполнении технологических операций.

Тип: Article