Материалов:
678 583

Репозиториев:
29

Авторов:
475 470

Протяженный источник ионов для обработки в вакууме

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:08:22Z

Аннотация:

В настоящее время источники ионов широко используются в технике для осуществления различных технологических процессов: очистки и активации поверхности перед нанесением покрытия, размерной обработки поверхности прецизионных деталей, пассивирования поверхности металлов, синтеза алмазоподобных пленок на поверхности твердого тела, либо удаления пленок с этой поверхности.

Тип: Статья

Другие версии документа

Протяженный источник ионов для обработки в вакууме

Связанные документы (рекомендация CORE)