Синтез однослойных ZrN-покрытий вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом с фильтрацией плазменного потока

Шугуров, Владимир Викторович; Прокопенко, Никита Андреевич; Петрикова, Елизавета Алексеевна; Толкачев, Олег Сергеевич; Денисова, Юлия Александровна; Крысина, Ольга Васильевна

Синтез однослойных ZrN-покрытий вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом с фильтрацией плазменного потока

Шугуров, Владимир Викторович, Прокопенко, Никита Андреевич, Петрикова, Елизавета Алексеевна, Толкачев, Олег Сергеевич, Денисова, Юлия Александровна, Крысина, Ольга Васильевна

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:59:37Z

Аннотация:

Получены покрытия на основе ZrN вакуумно-дуговым методом в условиях плазменного ассистирования и фильтрации плазмы от капельной фазы. Комплексно исследованы свойства, элементный и фазовый состав покрытий, их структура методами современного материаловедения. Выявлены режимы осаждения, в которых сформированные покрытия имеют низкую шероховатость (0.03 мкм), высокую твердость (до 30.5 ГПа), относительно низкий коэффициент трения (0.39), низкий параметр износа (до 2.2·10–6 мм3/(Н·м)). По результатам рентгеноструктурного анализа определено, что покрытия состоят из ZrN-кристаллитов с кубической решеткой.

Ключевые слова:
вакуумно-дуговое плазменно-ассистированное осаждение, фильтрация плазменного потока, ZrN-покрытия, дуговой разряд, коэффициент трения, износостойкость

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 5. С. 106-111