Материалов:
567 760

Репозиториев:
28

Авторов:
357 530

Влияние низкоэнергетичной ионной бомбардировки аргоном и азотом на свойства кремния

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T09:00:58Z

Аннотация:

Результаты исследований влияния процесса распыления Si низкоэнергетичными ионами аргона и азота (< 1 кэВ) на шероховатость поверхности, электропроводность, микротвердость и трещиностойкость

Белгородский государственный университет


Связанные документы (рекомендация CORE)