Материалов:
567 760

Репозиториев:
28

Авторов:
357 530

Оптические свойства пленок SiC, SiC₀.₇N₀.₃, Si₃N₄, полученных методом магнетронного напыления

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T09:01:43Z

Аннотация:

Результаты исследований спектров поглощения тонких пленок SiC, SiC ₀.₇N₀.₃, Si₃N₄, полученных методом высокочастотного магнетронного нереактивного напыления

Белгородский государственный университет

Тип: Article


Связанные документы (рекомендация CORE)