Материалов:
678 583

Репозиториев:
29

Авторов:
475 470

Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-31T23:38:19Z

Аннотация:

Учебное пособие для студентов вузов по направлению 210200.

Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.

В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.

Тип: Book

Другие версии документа

Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники

Связанные документы (рекомендация CORE)