Материалов:
678 583

Репозиториев:
29

Авторов:
475 470

Прочностные свойства и морфология поверхности структур фоторезист ФП9120 – кремний

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T11:37:11Z

Аннотация:

Целью настоящей работы являлось исследование прочностных свойств пленок фоторезиста марки ФП9120 различной толщины, нанесенных на пластины кремния различных марок.

Тип: Научный доклад (Working Paper)


Связанные документы (рекомендация CORE)