Материалов:
678 583

Репозиториев:
29

Авторов:
475 470

Метод формирования бинарных нитридов Ti-Al-N реактивным магнетронным распылением с оптическим управлением

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T11:37:13Z

Аннотация:

Основной задачей настоящей работы является определение параметров осаждения, позволяющих достичь высокой воспроизводимости химического состава пленок Ti-Al-N и их оптимальных физических свойств: твердости износостойкости и др.

Тип: Научный доклад (Working Paper)


Связанные документы (рекомендация CORE)