Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-08-28T11:32:22Z

Аннотация:

Диссертация на соискание академической степени магистра технических наук по специальности 1-41 80 02 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники». Научный руководитель к.т.н., доцент Захаренко В.С.

Тип: Thesis