Свойства магнетронного разряда низкого давления в условиях инициирования пучком ускоренных ионов эмиссионных процессов на электродах разряда

Семенов, Александр Петрович; Семенова, Ирина Александровна; Цыренов, Дмитрий Бадма-Доржиевич; Николаев, Эрдэм Олегович

Свойства магнетронного разряда низкого давления в условиях инициирования пучком ускоренных ионов эмиссионных процессов на электродах разряда

Семенов, Александр Петрович, Семенова, Ирина Александровна, Цыренов, Дмитрий Бадма-Доржиевич, Николаев, Эрдэм Олегович

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2020-12-02T09:53:51Z

Аннотация:

Рассмотрено влияние ионного пучка, инжектируемого вдоль оси анодного электрода планарного магнетрона, на зажигание аномального тлеющего разряда низкого давления в магнетроне. Определены характеристики зажигания разряда при давлениях < 8·10–2 Па и свойства планарного магнетрона при облучении катода магнетрона пучком ионов аргона. Установлено, что напряжение зажигания разряда падает с повышением энергии ионов и пороговым образом зависит от тока ионного пучка. Показана перспектива расширения функциональных возможностей планарных магнетронов за счет согласования режимов распыления центрального анода ионным пучком и катода магнетрона плазменными ионами аномального тлеющего разряда.

Ключевые слова:
магнетронные разряды, пучки ионов, эмиссионные процессы, свойства, применение

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 102-108