Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T16:16:44Z

Аннотация:

Электроника анодных оксидных пленок нанометровой толщины является перспективным научным направлением. Анодные оксидные пленки этих материалов являются перспективными наноматериалами и могут применяться в технологии создания элементов кремниевых интегральных микросхем в качестве диффузанта и диэлектрика.

Тип: Article