Разработаны конструкция и технология изготовления интегрированных оптических и электрических межсоединений на кремнии. В качестве светоизлучающих диодов используются структуры на основе наноразмерного кремния, встроенного в алюмооксидную матрицу. Изготовлена оптопара с коэффициентом преобразования по току 1 %.