Рассмотрена конструкция термически изолированного мембранного микросенсора с теплорас-
пределяющей областью. Проведено моделирование процесса диффузии из окисной пленки,
полученной по золь-гель технологии, и получена зависимость распределения примеси в крем-
ниевой подложке от концентрации бора в окисле и времени процесса диффузии. Выбраны оп-
тимальные режимы создания теплораспределяющей области мембранного микросенсора с
точки зрения минимизации градиента температуры.