Материалов:
875 618

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

Моделирование формирования высоколегированных элементов микросенсора

Дата публикации: 2005

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:38:51Z

Аннотация:

Рассмотрена конструкция термически изолированного мембранного микросенсора с теплорас- пределяющей областью. Проведено моделирование процесса диффузии из окисной пленки, полученной по золь-гель технологии, и получена зависимость распределения примеси в крем- ниевой подложке от концентрации бора в окисле и времени процесса диффузии. Выбраны оп- тимальные режимы создания теплораспределяющей области мембранного микросенсора с точки зрения минимизации градиента температуры.

Тип: Статья


Связанные документы (рекомендация CORE)