Материалов:
678 583

Репозиториев:
29

Авторов:
475 470

Влияние технологических параметров процесса алмазной механической обработки (полирования) кремниевых пластин (О 100 мм) на производительность процесса и качество пластин

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:01:59Z

Тип: Научный доклад (Working Paper)


Связанные документы (рекомендация CORE)