Выявлен ряд особенностей процесса рассеяния в плёночном и градиентных волноводах. Предложена уточнённая модель распределения показателя преломления для волноводов, изготовленных с помощью ионного обмена. Определена максимальная чувствительность метода измерения спектра шероховатости для волноводов с различными распределениями показателя преломления в приповерхностной области диэлектрика.