Материалов:
678 583

Репозиториев:
29

Авторов:
475 470

К моделированию технологии изготовления кремниевых МЭМС/НЭМС-приборов

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:03:59Z

Тип: Статья (Article)


Связанные документы (рекомендация CORE)