Компьютерное моделирование свойств перспективных материалов, проектирование и оптимизация технологических процессов и приборных структур микро- и наноэлектроники
Боровик, А. М.,
Зеленина, М. С.,
Козлова, О. А.,
Ловшенко, И. Ю.,
Скачкова, В. А.,
Стемпицкий, В. Р.
Связанные документы (рекомендация CORE)