Визуализация кремния обработанного сфокусированным ионным пучком Ga в нематической ячейке

Кучеев, И. С.; Тучина, Ю. С.

Визуализация кремния обработанного сфокусированным ионным пучком Ga в нематической ячейке

Дата публикации: 2009

Дата публикации в реестре: 2023-02-21T11:05:22Z

Аннотация:

Продемонстрирована возможность визуализации участков поверхности кремния подвергшихся воздействию фокусированных пучков ионов Ga в нематической ячейке

Ключевые слова:
физика, кристаллография, ионные пучки, облучение, нанолитография, наноструктуры

Тип: Article