В статье исследованы механические колебания в приводах точного электронного машиностроения. Полученные результаты исследований параметров функционирования прецизионного оборудования ОАО «Планар» на примере автомата ЭМ-2165 позволили определить параметры возникающих механических колебаний стола и электрошпинделя, а также установить влияние на них инерционно-жесткостных характеристик редуктора и зубчато-ременной передачи.