Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:20:32Z

Аннотация:

Разработан реактор химического осаждения из газовой фазы с применением плазмы высокой плотности на основе источника индуктивно-связанной плазмы. Проведены исследования влияния аксиального магнитного поля и магнитного поля с нулевым контуром на рабочее давление источника индуктивно-связанной плазмы. При наличии аксиального магнитного поля величиной 0,7 мТл в рабочей камере удалось снизить рабочее давление «горения» индуктивно-связанной плазмы вплоть до 5·10-2 Па.

Тип: Article