Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Стабильность тонких плёнок диоксида гафния

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:25:06Z

Аннотация:

В ходе работы исследовались тонкие плёнки диоксида гафния (HfO2) с толщиной до 30 Å, имеющие различные фазы и кристаллографические ориентации. Расчёты производились с целью выявления наиболее стабильной из фаз. Определили, что при толщинах плёнки менее 20 Å наименьшей полной энергией обладают пленки с кубической структурой, а при больших толщинах – с моноклинной структурой. 2D HfO2 с кубической структурой также являются динамически стабильными.

Тип: Article


Связанные документы (рекомендация CORE)