Технология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытий

Хамаде, Б. З.; Котов, Д. А.

Технология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытий

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:30:14Z

Аннотация:

В сообщении приводятся результаты аналитических исследований применения плазмы генерируемой при атмосферном давлении и ее видах разрядов для использования в микроэлектронике и нанотехнологиях.

Ключевые слова:
материалы конференций, барьерные разряды, атмосферная плазма, нанесение покрытий

Тип: Article

Технология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытий

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация