Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда

Байсова, Бибигуль Тулегеновна; Демин, Александр Сергеевич; Пушкарев, Алексей Александрович; Струнин, Владимир Иванович; Худайбергенов, Гамзат Жапарович

Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда

Байсова, Бибигуль Тулегеновна, Демин, Александр Сергеевич, Пушкарев, Алексей Александрович, Струнин, Владимир Иванович, Худайбергенов, Гамзат Жапарович

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:16:40Z

Аннотация:

Рассчитаны заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда. Исследованы зависимости заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от расхода газа (14–30 станд. см3/мин) и от колебательной мощности генератора (10–50 Вт) в атмосфере чистого аргона и смеси аргон – силан (95 % Ar + 5 % SiH4), а также зависимость заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от содержания силана (0,5–5 %) в аргон-силановой смеси.

Ключевые слова:
плазма аргон-силановая, тлеющий разряд, метастабильные состояния аргона, заселенность состояний, высокочастотные разряды, осаждение тонких пленок, тонкие пленки аморфного кремния

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2013. Т. 56, № 1. С. 63-67