Физико-химические основы микро- и наноэлектроники. Лабораторный практикум : пособие ионного распыления твердых тел, физических процессов
в выпрямляющих контактах металл–полупроводник и
в Производственные технологии. Лабораторный практикум : учебно-метод. пособие, изучению термообработки сталей, процессов диффузии и фотолитографии
в микроэлектронном производстве