Ионно-оптическая система мультипольного многоапертурного ионно- лучевого источника для нанопокрытийИонно-оптическая система мультипольного многоапертурного
ионно- лучевого источника для нанопокрытий
Ионно-лучевой источник для ассистированного осаждения оптических покрытийИонно-лучевой источник для ассистированного осаждения оптических покрытий
Ионно-лучевой источник для наноразмерной модификации поверхностиИонно-лучевой источник для наноразмерной модификации поверхности
Протяженный источник ионов для обработки в вакуумеПротяженный
источник ионов для обработки в вакууме
Разрядные характеристики ионно-лучевого источника с анодным слоемИсследованы разрядные характеристики
ионно-лучевого источника с анодным слоем в диапазоне
Исследование вольтамперных характеристик интегрированной ионно-плазменной системы особенности электромагнитной совместимости
ионно-лучевой и
магнетронной распылительной систем
Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур, исследование и совершенствование процессов высокоэффективной
ионно-лучевой обработки.The aim of the work