Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Enhanced Ferroelectricity and Reliability in Sub-6 nm Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2/ZrO2/Hf0.5Zr0.5O2 Stack Film Compatible with BEOL Proces

Yinchi Liu, Jining Yang, Hao Zhang, Golosov, D. A., Chenjie Gu, Xiaohan Wu, Hongliang Lu, Lin Chen, Shijin Ding, Wenjun Liu

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T12:47:55Z

Аннотация:
Ключевые слова:
публикации ученых, ferroelectricity, back-end of line, low voltage equipment

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core