Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local and not local statement of the problem - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local and not local statement of the problem

Askhatov R., Chebakova V., Zheltukhin V.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T01:24:39Z

Аннотация:

Тип: Conference Paper

Источник: SCOPUS17578981-2016-158-1-SID85014412491

Другие версии документа

Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local and not local statement of the problem

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ

ТГУ

Elpub

СФУ

Webpublishers

Индексация

BASE

WorldCat

OpenAIRE

EDS

core