Представлена универсальная система получения субпиксельного разрешения при формировании топологии планарных структур. Она основана на двухуровневой системе динамического виртуального сканирования для получения оптимального взаимного расположения сетки дискретизации и формируемого элемента.
Предложенная универсальная система была предназначена для реализации в установках ЭМ-6029Б, ЭМ-6329 и ЭМ-6729.