Формирование хемочувствительных матричных пленок для газовых микросенсоров

Захлебаева, А. И.; Ткач, А. Н.; Пянко, А. В.

Формирование хемочувствительных матричных пленок для газовых микросенсоров

Захлебаева, А. И., Ткач, А. Н., Пянко, А. В.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:28:32Z

Аннотация:

Разработан метод формирования пленок SnO2∙ZnO в матрицах анодного оксида алюминия химическим осаждением из растворов, исследована структура и хемочувствительные свойства сформированных пленок. Thin films of SnO2∙ZnO was formed by chemical deposition of solutions in anodic alumina matrix. The structure, properties and chemosensitivity of formed films were researched.

Ключевые слова:
публикации ученых, пористый анодный оксид алюминия, оксид олова, оксид цинка, химическое послойное осаждение из растворов, porous anodic alumina, tin oxide, zinc oxide, chemical layer deposition from solutions

Тип: Article