Микроструктура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Кузьминов, Евгений Дмитриевич; Дербин, Алексей Юрьевич; Шугуров, Артур Рубинович

Микроструктура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Кузьминов, Евгений Дмитриевич, Дербин, Алексей Юрьевич, Шугуров, Артур Рубинович

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-10-01T21:21:49Z

Аннотация:

Изучены состав, структура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методами сильноточного импульсного магнетронного распыления и магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что при сильноточном импульсном распылении ток и мощность магнетронного разряда экспоненциально возрастают во время импульса и достигают пиковых значений, которые на порядок величины превосходят аналогичные характеристики при распылении на постоянном токе. Высокий уровень ионизации распыленных частиц обусловил существенное увеличение количества ионов в потоке частиц, осаждаемых на подложку. Повышение интенсивности ионной бомбардировки растущих покрытий обеспечило подавление роста столбчатых зерен и формирование более плотной и однородной микроструктуры, что позволило улучшить их механические характеристики.

Ключевые слова:
сильноточное импульсное магнетронное распыление, механические свойства, структура, элементный состав, Ti-Al-Ta-N-покрытия

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2024. Т. 67, № 5. С. 100-107