Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы

Блейхер, Галина Алексеевна; Кривобоков, Валерий Павлович; Юрьева, Алена Викторовна

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы

Блейхер, Галина Алексеевна, Кривобоков, Валерий Павлович, Юрьева, Алена Викторовна

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2024-10-01T21:23:05Z

Аннотация:

Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности её распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путём сравнения расчётных результатов с экспериментальными измерениями.

Ключевые слова:
магнетронные распылительные системы, жидкофазные мишени, эмиссия атомов, распыление, испарение

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2015. Т. 58, № 4. С. 3-8