Средневолновые ФПУ форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм на основе слоев HgCdTe, выращенных методом МЛЭ на кремниевых подложках

Сидоров, Юрий Георгиевич; Якушев, Максим Витальевич; Сабинина, Ирина Викторовна; Сидоров, Георгий Юрьевич; Васильев, Владимир Васильевич (физик); Зверев, Алексей Викторович; Макаров, Юрий Сергеевич; Бударных, Виктор Иванович; Марчишин, Игорь Владимирович; Марин, Денис Викторович; Семенов, Михаил Павлович; Предеин, Александр Владиленович; Вишняков, Алексей Витальевич; Варавин, Василий Семенович; Ремесник, Владимир Григорьевич; Смолянин, Андрей Викторович; Сизиков, Павел Васильевич; Давыдова, Евгения Олеговна

Средневолновые ФПУ форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм на основе слоев HgCdTe, выращенных методом МЛЭ на кремниевых подложках

Сидоров, Юрий Георгиевич, Якушев, Максим Витальевич, Сабинина, Ирина Викторовна, Сидоров, Георгий Юрьевич, Васильев, Владимир Васильевич (физик), Зверев, Алексей Викторович, Макаров, Юрий Сергеевич, Бударных, Виктор Иванович, Марчишин, Игорь Владимирович, Марин, Денис Викторович, Семенов, Михаил Павлович, Предеин, Александр Владиленович, Вишняков, Алексей Витальевич, Варавин, Василий Семенович, Ремесник, Владимир Григорьевич, Смолянин, Андрей Викторович, Сизиков, Павел Васильевич, Давыдова, Евгения Олеговна

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-10-01T21:24:46Z

Аннотация:

Разработана конструкция и изготовлены матричные фотоприемники форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм с длинноволновой границей чувствительности 5.1 мкм на основе слоев теллурида кадмия и ртути, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках из кремния. Разработаны схема и топология, по которым изготовлены матричные мультиплексоры форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм, обеспечивающие рабочие режимы на тактовой частоте до 20 МГц. Методом гибридной сборки на индиевых столбах изготовлено матричное фотоприемное устройство форматом 640×512 элементов с шагом 15 мкм. Лучшие образцы характеризуются следующими параметрами: средняя величина разности температур, эквивалентной шуму < 18 мK, количество работоспособных элементов > 99.8%.

Ключевые слова:
кадмий-ртуть-теллур, молекулярно-лучевая эпитаксия, мультиплексоры, фокальная плоскость, SWaP-технологии

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2024. Т. 67, № 7. С. 26-35