Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2024-10-01T21:24:59Z

Аннотация:

На основе метода Монте-Карло построена модель роста тонких пленок, получаемых наклонным падением частиц. Проведен анализ морфологии синтезированных в результате моделирования структур. Для изучения характера распределения микроструктурных элементов (столбцов) в плоскости пленки использовались автокорреляционная функция микроструктуры и быстрое преобразование Фурье. Показано, что с увеличением угла падения частиц плотность пленки монотонно падает, при этом возникает и монотонно растет анизотропия формы поперечного сечения столбцов, а также растет анизотропия в распределении столбцов по плоскости подложки.

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2016. Т. 59, № 2. С. 120-125