Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2025-02-11T12:24:10Z

Аннотация:

В данной работе представлена методика моделирования тепловой постоянной времени для неохлаждаемых тепловых детекторов болометрического типа (микроболометров). Для исследования используется структура микроболометра, созданного с использованием технологии микроэлектромеханических систем. Приведены основные теоретические сведения о физических процессах и характеристиках, лежащих в основе устройства микроболометра. Рассмотрены основные электрофизические параметры, влияющие на постоянную времени. Представлено моделирование переходного термического процесса типовой структуры микроболометра. Описан физико- математический аппарат расчёта постоянной времени. Для определения численного значения постоянной времени использовался метод наименьших квадратов в комплексе с методом линейной регрессии с целью нахождения коэффициентов аппроксимационной кривой. Для эффективного применения названных методов производилось нормирование входных данных.

Тип: Article