Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2025-02-11T12:24:11Z

Аннотация:

В данной статье рассматривается проблема формирования переходных отверстий в кремниевой пластине с использованием лазерного нагрева. Выполнено моделирование лазерного нагрева для выбора оптимальных параметров для получения отверстия в кремниевой пластине необходимой для формирование контактных соединений между компонентами 3D-модуля.

Тип: Article