Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2025-02-11T13:40:02Z

Аннотация:

Учебно-методическое пособие.

Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.

Приведены основные требования к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Специальный физический практикум». Дано краткое описание устройств вакуумно-дугового и магнетронного напыления. Изложены основные физические принципы получения наноструктурных материалов в плазме дугового разряда низкого давления и тонких пленок методом магнетронного напыления. Предназначено для студентов и магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 03.04.02 «Физика», всех форм обучения.

Тип: Book