Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона

Евдокимов, Кирилл Евгеньевич; Конищев, Максим Евгеньевич; Пичугин, Владимир Федорович; Пустовалова, Алла Александровна; Иванова, Нина Михайловна; Сунь, Чжилей

Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона

Евдокимов, Кирилл Евгеньевич, Конищев, Максим Евгеньевич, Пичугин, Владимир Федорович, Пустовалова, Алла Александровна, Иванова, Нина Михайловна, Сунь, Чжилей

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2025-02-11T14:41:18Z

Аннотация:

Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужденных состояний атома Ar и учитывает следующие процессы: возбуждение и дезактивация состояний атома электронным ударом; радиационный распад возбужденных состояний; самопоглощение излучения; ионизация возбужденных состояний электронным ударом, тушение метастабильных состояний вследствие столкновений со стенками камеры. Данным методом проведено исследование плазмы магнетронного разряда лабораторной установки среднечастотного магнетронного напыления для нескольких режимов работы.

Ключевые слова:
плазма, магнетронное напыление, диагностика плазмы, аргон, оптическая спектроскопия, столкновительно-излучательные модели, спектроскопия плазмы

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 5. С. 21-29

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация