Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Захаров, Александр Николаевич; Соловьев, Андрей Александрович; Оскомов, Константин Владимирович; Оскирко, Владимир Олегович; Семенов, Вячеслав Аркадьевич; Сыртанов, Максим Сергеевич; Бордулев, Юрий Сергеевич

Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Захаров, Александр Николаевич, Соловьев, Андрей Александрович, Оскомов, Константин Владимирович, Оскирко, Владимир Олегович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Сыртанов, Максим Сергеевич, Бордулев, Юрий Сергеевич

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2025-02-11T14:41:52Z

Аннотация:

Приведены результаты экспериментов по осаждению тонких пленок молибдена на стеклянные подложки методом сильноточного импульсного магнетронного распыления. Использовались два сильноточных режима, отличающиеся частотой повторения импульсов и их длительностью. Свойства полученных молибденовых пленок сравнивались со свойствами пленок, полученных магнетронным распылением на постоянном токе. Показано, что использование данного метода позволяет уменьшить удельное сопротивление молибденовых пленок и увеличить их отражение в видимом диапазоне.

Ключевые слова:
тонкие пленки, молибден, магнетронное распыление, магнетронные разряды, удельное сопротивление, адгезия

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 8. С. 65-69