Материалов:
1 081 645

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Подготовка экспериментальных структур в рамках исследования формирования токопроводящих плёнок на основе TiSi2 с использованием БТО

Демиденко, Н. Е.

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2025-02-11T15:16:59Z

Ключевые слова:
Микроэлектроника, Токопроводящие пленки, Силициды титана, Быстрый термический отжиг, Модульные установки

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core