Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T12:29:12Z

Аннотация:

Плазменные технологии в силу наличия большого количества достоинств широко применяются в производстве устройств электронной техники. В данной статье речь пойдет о технологии плазмохимического травления при использовании СВЧ разряда, выборе фоторезиста и оборудования для выполнения следующего технологического процесса.

Тип: Article