Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T12:29:56Z

Аннотация:

Проведено исследование распределения напряженности магнитного поля над поверхностью магнитной системы цилиндрического магнетрона. Показано, что применение шунтирующей накладки из магнитной стали марки SUS 420 J2 позволяет повысить однородность получаемого магнитного поля, что непосредственно влияет на равномерность напыляемых покрытий. При этом толщина накладки не влияет на ее выравнивающую способность, а с увеличением ее толщины снижается величина магнитной индукции над магнитными полюсами. Результаты физико-математического моделирования подтверждены экспериментально.

Тип: Article