Дата публикации: 2025

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T12:30:18Z

Аннотация:

Рассматриваются вакуумные системы современных устройств сканирующей электронной микроскопии и особенности их построения для реализации дополнительных функций, расширяющих диапазон проводимых исследований.

Тип: Article