КОМПЛЕКСНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ НЕРАВНОМЕРНОСТИ СВОЙСТВ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО КАТОДА LiCoO&lt;sub&gt;2&lt;/sub&gt;, ИЗГОТОВЛЕННОГО МЕТОДОМ ВЧ-МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Курбатов С.В.; Рудый А.С.; Наумов В.В.; Мироненко А.А.; Савенко О.В.; Смирнова М.А.; Мазалецкий Л.А.; Пухов Д.Э.

КОМПЛЕКСНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ НЕРАВНОМЕРНОСТИ СВОЙСТВ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО КАТОДА LiCoO₂, ИЗГОТОВЛЕННОГО МЕТОДОМ ВЧ-МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Курбатов С.В., Рудый А.С., Наумов В.В., Мироненко А.А., Савенко О.В., Смирнова М.А., Мазалецкий Л.А., Пухов Д.Э.

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T14:23:30Z

Аннотация:

Исследовано влияние неоднородности катодного слоя LiCoO₂, нанесенного методом магнетронного распыления, на емкость твердотельных тонкопленочных литий-ионных аккумуляторов (ТТЛИА). Показано, что неоднородность пленки соответствует распределению плотности плазмы магнетрона и угловому распределению распыляемых частиц. Исследована зависимость емкости ТТЛИА на основе LiCoO₂ от расстояния от центра подложки. Установлено, что максимальная емкость соответствует плотной части тороидальной области плазмы. Показано, что основными причинами более низкой емкости аккумуляторов, сформированных в центральной части подложки и на периферии, являются побочные фазы кобальтита лития и меньшая толщина катодного слоя.

Ключевые слова:
RF magnetron sputtering, nonuniformity cathode layer, spread of specific capacitance, all-solid-state thin-film lithium-ion battery, ВЧ магнетронное распыление, неоднородность катодного слоя, разброс удельной емкости, тонкопленочный литий-ионный аккумулятор

Тип: Article

Источник: Микроэлектроника