Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Фотодетекторы УФ-излучения на основе пленок Ga2O3 с высоким быстродействием

Дата публикации: 2025

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T16:40:23Z

Аннотация:

Представлены результаты исследования фотоэлектрических характеристик структур Pt/Ga2O3 при воздействии ультрафиолетовым (УФ) излучением с длиной волны λ = 254 нм. Рассмотрено влияние температуры отжига в атмосфере воздуха и времени роста пленок Ga2O3 на фоточувствительность и быстродействие фотодетекторов на их основе. Пленки Ga2O3 были получены методом ВЧ-магнетронного распыления на сапфировые подложки с базовой ориентацией (0001). Пленки Ga2O3 характеризуются высокой прозрачностью в длинноволновом УФ- (UVA) и видимом (VIS) диапазонах. Максимальные значения токовой монохроматической чувствительности и отношения сигнал/шум характерны при напряжении 100 В и составили 140.6 мА/Вт и 2·105 отн. ед. соответственно. Структуры обладают высоким быстродействием, времена отклика и восстановления составили 7.6 и 2.0 мс соответственно при напряжении 10 В. В работе показана связь между фоточувствительностью и быстродействием фотодетекторов.

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2025. Т. 68, № 4. С. 35-41


Связанные документы (рекомендация CORE)