Разработана физико-математическая модель формирования многослойного упрочняющего покрытия нитридом титана, полученного импульсным электровакуумным напылением длительностью ~ 1...1.5 с. Нитрид титана в упрочняющем покрытии представляет собой керамику объемоцентрированной структуры, армированную молекулами TiN. Для увеличения прочности сцепления с основой создается прослойка атомарного титана, а для образования атомарного титана и молекул нитрида титана — каталитические реакции соединения молекулярного азота с молекулами титана Ti2 и Ti3.