Контроль однородности полупроводниковых пленок в процессе проведения зондовых измерений удельной электропроводности

Заворотний, Анатолий Анатольевич; Ершов, Александр Анатольевич; Филиппов, Владимир Владимирович (физик); Лузянин, Сергей Евгеньевич

Контроль однородности полупроводниковых пленок в процессе проведения зондовых измерений удельной электропроводности

Заворотний, Анатолий Анатольевич, Ершов, Александр Анатольевич, Филиппов, Владимир Владимирович (физик), Лузянин, Сергей Евгеньевич

Дата публикации: 2025

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T16:41:25Z

Аннотация:

Рассмотрены основные выражения, позволяющие определять значение удельной электропроводности в полупроводниковых пластинах и пленках прямоугольной и круглой формы при двухзондовом методе измерений на постоянном токе. На основе асимптотического анализа получены приближенные удобные для расчетов формулы для разности потенциалов между измерительными зондами. Показано, что в большинстве практически используемых случаев предлагаемые асимптотические формулы можно использовать без увеличения измерительной погрешности в случаях контроля однородности распределения электрофизических параметров исследуемых образцов.

Ключевые слова:
полупроводниковые кристаллы, двухзондовый метод, удельная электропроводность, граничные условия, асимптотический анализ

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2025. Т. 68, № 2. С. 82-91